近日，北方華創真空自主設計的特大型排氣臺在公開招標項目中，憑借其真空度及溫度均勻性指標優越、有效容積大、裝爐量高、設備穩定性高等特性，一舉中標，成為真空行業主流客戶在特定制造工藝中的首選裝備。

　　作為科研領域方面的重點項目，高能環形正負電子對撞機(CEPC)項目瞄準高能物理的前沿——希格斯粒子。希格斯粒子的精確測量和研究，是通向更深層次物理的鑰匙，是粒子物理研究不可跨越的一步。高能環形正負電子對撞機(CEPC)光子能量可達20 MeV，通量極高，在材料、微加工、大型部件檢測等許多方面應用廣泛。一旦建成，中國將成為全球高能物理研究的中心，將吸引全世界最優秀的一批科學家和工程師，建設世界級的科學中心，帶動一系列核心技術的發展。

　　特大型排氣臺主要應用于650MHz/800kW連續波速調管的制造工藝，是CEPC項目核心部件之一——高效率微波功率源的一道關鍵工藝過程。

　　本次特大型排氣臺項目的中標，標志著北方華創真空排氣臺產品的設計研發水平有了大幅度提升。特大型排氣臺的腔體有效容積、極限真空度、真空密封、熱場溫度均勻性、控制系統等方面都對方案的設計提出了更高的要求，其有效區尺寸達到φ1800mm×5000mm，額定轉載量達到2800kg，遠遠大于常規真空排氣臺產品。北方華創真空自我挑戰，根據客戶的實際需求，針對技術難點進行集中攻關，充分理解應用于CEPC的核心部件——連續波速調管的工藝要求，所設計呈現的特大型排氣臺方案受到了業主和評標專家的一致認可。

　　

 

　　(特大型排氣臺示意圖)

　　北方華創真空將以此為契機，通過特大型真空排氣臺設備助力國家高端科研領域，在應用于高端科研領域的真空熱處理裝備市場中書寫嶄新的一頁。